一般是将含氟材料放在辉光放电管或等离子体发生器中，先将系统抽到1.33Pa的真空度，然后通人微量惰性气体并调节真空度为l33-32Pa左右。 当通电激发高频线圈时，活化的惰性气体与聚合物表面作用15min以上，结果在表面上生成了坚韧的和可胶接的表皮层，胶接强度由0.52 MPa提高到5.2MPa。对水的接触角由111度下降到91度。张丽惠等人将聚四氟乙烯膜经氩(Ar)低温等离子体预处理，无光引发剂紫外光照接枝甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)。通过接触角测量，考察了等离子体不同处理时问、接枝GMA的体积分数、接枝时问对聚四氟乙烯膜亲水性的影响。并以x光电子能谱(XPS)为手段，比较了聚四氟乙烯膜表面改性前后的组成。结果表明，聚四氟乙烯膜用Ar等离子体预处理，再进行紫外光照接枝GMA，其表面对水的接触角南l 10。可降低到65度左右，亲水性得到大幅度改善。陈晓东等人利用CH4/O2混合气体等离子体对聚四氟乙烯进行表面改性，利用角分辨XPS和接触角对改性效果进行表征。结果表明：经CH4/O2混合气体等离子体处理，在一定条件下可较好地改善聚四氟乙烯的表面亲水性。对等离子体处理机理进行了探讨，认为在处理过程中存在相互影响的聚合、刻蚀和氧化作用，而O2等离子体的刻蚀作用对聚四氟乙烯的表面亲水改性起着不良的影响。谢洪德等人利用Ar等离子体表面处理后再经丙烯酸化学接枝处理方法对聚四氟乙烯薄片表面进行改性，发现聚四氟乙烯对水的润湿性明显改善，然后用环氧胶进行粘接，其粘接强度有较大提高。周灵君等人采用H2/N2等离子体对聚四氟乙烯片基表面进行了处理，通过正交实验和接触角的测定优化等离子处理条件；XPS光谱分析了改性后的聚四氟乙烯的表面官能团的组成。结果表明：聚四氟乙烯片基经H2/N2等离子体处理后，表面的C-F键发生了断裂，形成了大量活性氨基，使其表面具有很好的生物活性和亲和性。 王琛等人研究远程Ar等离子体对聚四氟乙烯膜表面蚀刻和亲水性的影响。将远程等离子体与常规等离子体处理工艺对聚四氟乙烯膜表面改性效果进行对比，结果表明，远程等离子体对基体材料表面具有更好的改性效果。XPS光谱分析表明，远程Ar等离子体处理后的薄膜在空气中氧化后可以在其表面引入更多的含氧基团。推断其结构为C-O-C，O-C=O或O-C-O等。等离子体处理法装置投资成本较高，而且其真空系统因腐蚀失效问题还没有根本解决，处理工艺可适于薄膜连续化处理，而对单个制品的处理很适用，且处理后对粘接强度提高不够理想。
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